本文目录光刻机是干什么用的，工作原理是什么？光刻机是干什么用的，工作原理是什么？光刻机的干刻与湿刻的优缺点？光刻机的干刻与湿刻的区别？光刻机是干什么用的，工作原理是什么？光刻机的作用是蚀刻芯片的功能及线路，当然也包括了制造处理器这样的大规模集成电路或者内存颗粒、闪存颗粒等等。–光刻机是制造微机电
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光刻机是干什么用的，工作原理是什么？
光刻机的作用是蚀刻芯片的功能及线路，当然也包括了制造处理器这样的大规模集成电路或者内存颗粒、闪存颗粒等等。–光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。可以分为两种，分别是模板与图样大小一致的contact aligner，曝光时模板紧贴芯片；以及利用类似投影机原理的stepper，获得比模板更小的曝光图样萊垍頭條
光刻机是干什么用的，工作原理是什么？
光刻机的作用是蚀刻芯片的功能及线路，当然也包括了制造处理器这样的大规模集成电路或者内存颗粒、闪存颗粒等等。–光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。可以分为两种，分别是模板与图样大小一致的contact aligner，曝光时模板紧贴芯片；以及利用类似投影机原理的stepper，获得比模板更小的曝光图样
光刻机的干刻与湿刻的优缺点？
优缺点如下：萊垍頭條
湿法刻蚀?艺的优点是设备简单，刻蚀速率?，选择性?。缺点是湿刻蚀刻剂化学物质去除了掩膜材料下?的基板材料，还需要?量的蚀刻剂化学物质。此外，必须?致地替换蚀刻剂化学物质，以保持相同的初始蚀刻速率。结果，与湿蚀刻有关的化学和处理成本?常?。?蚀刻的?些优点是其?动化能?和减少的材料消耗，?刻（例如，等离?蚀刻）的成本更低。缺点是干刻的光源波长精度不如湿刻，因为湿刻是利用纯水压缩了光源波长。萊垍頭條
光刻机的干刻与湿刻的区别？
湿法刻蚀是将刻湿刻就是过程中有水加入，将上面经过光刻的晶圆与特定的化学溶液反应，去掉不需要的部分，剩下的便是电路结构了，干刻目前还没有实现商业量产，其原理是通过等离子体代替化学溶液，去除不需要的硅圆部分。
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